活动历史背景
某大型的半导工作销售制造客户地属长四角省市,其主要工作销售晶圆和鑫霖环保芯片。在工作销售环节中,晶圆切和抛光解决过程形成许多机磨液生产废水,每日进行排股票放量约50吨。根据生产废清水中具有高酸度浮窗物、重金属铁离子及无机调用剂,可以进行产生会对区域会造成明显环境破坏,客户急要的建设技术解决公共设施。
废水处理组成及因素
磨研液污废水 主要的是来取决于于晶圆手工加工中的生物设备打蜡 (CMP)步骤,主要的是环境有机废气比如:
漂浮小粒物
:二氧化反应的硅、氧化反应的铝等磨细颗粒状,粒度分布在0.1-1μm,密度万代高达2000mg/L。
合金金属阳离子
:铜、铁、锌等,存在拋光垫磨花及晶圆面上不锈钢层,铜阳离子氧浓度约50mg/L。
无机调用剂
:包含漆层活力性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱度性物质
:pH值上下波动大,常见在2-11期间。
解决技术步骤
根据废气特征参数,采用了“预治疗+生化学+深浅治疗”搭档施工工艺:
设定池
:动态平衡饮用水发电量,获取酸碱平衡缓解pH至普通。
混泥土沉淀自己
:污泥脱水PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),弄掉自动隐藏物和固体,沉降后SS弄掉率>90%。
离子液体防氧化
:按照Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解生产添加图片剂,COD去掉率达60%。
生态学正确处理
:MBR膜生态学反應器进的一步生物降解用不完巧妙物,COD低于100mg/L如下。
阳离子对调
:上用光敏树脂气体吸附铜铁离子,溢水铜水分含量<0.5mg/L。
砂滤+生物炭过滤清洁
:为了保证溢水清辙,达成《污废水结合排放口条件》(GB8978-1996)4级条件。
结果是的效果
软件行驶安稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
循环率达40%,累计未达标的尾气排放,年极大减少工业废水的尾气排放1.10万吨。
补救成本预算约15元/吨,远压低的行业一般。