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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

活动历史背景 某大型的半导工作销售制造客户地属长四角省市,其主要工作销售晶圆和鑫霖环保芯片。在工作销售环节中,晶圆切和抛光解决过程形成许多机磨液生产废水,每日进行排股票放量约50吨。根据生产废清水中具有高酸度浮窗物、重金属铁离子及无机调用剂,可以进行产生会对区域会造成明显环境破坏,客户急要的建设技术解决公共设施。 废水处理组成及因素 磨研液污废水 主要的是来取决于于晶圆手工加工中的生物设备打蜡 (CMP)步骤,主要的是环境有机废气比如: 漂浮小粒物 :二氧化反应的硅、氧化反应的铝等磨细颗粒状,粒度分布在0.1-1μm,密度万代高达2000mg/L。 合金金属阳离子 :铜、铁、锌等,存在拋光垫磨花及晶圆面上不锈钢层,铜阳离子氧浓度约50mg/L。 无机调用剂 :包含漆层活力性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸碱度性物质 :pH值上下波动大,常见在2-11期间。 解决技术步骤 根据废气特征参数,采用了“预治疗+生化学+深浅治疗”搭档施工工艺: 设定池 :动态平衡饮用水发电量,获取酸碱平衡缓解pH至普通。 混泥土沉淀自己 :污泥脱水PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),弄掉自动隐藏物和固体,沉降后SS弄掉率>90%。 离子液体防氧化 :按照Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解生产添加图片剂,COD去掉率达60%。 生态学正确处理 :MBR膜生态学反應器进的一步生物降解用不完巧妙物,COD低于100mg/L如下。 阳离子对调 :上用光敏树脂气体吸附铜铁离子,溢水铜水分含量<0.5mg/L。 砂滤+生物炭过滤清洁 :为了保证溢水清辙,达成《污废水结合排放口条件》(GB8978-1996)4级条件。 结果是的效果 软件行驶安稳后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。 循环率达40%,累计未达标的尾气排放,年极大减少工业废水的尾气排放1.10万吨。 补救成本预算约15元/吨,远压低的行业一般。

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