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半导体含氟废水处理案例|半导体含氟废水处理方法

创业项目情况 该半导研制企业的坐落在西北地方,大部分生產集合电路设计正确进行处理芯片,日排卸含氟焦化电镀废水约800吨。致使当地的绿色标准规定上升,本身正确进行处理设备是没办法无法氟化物排卸渗透压底于5mg/L的新规定要求,企业的投資1400万元新投入专业技术含氟焦化电镀废水正确进行处理体统。 生产废水组成及來源 废污水首要重点来是因为IC芯片制做环节中的刻蚀工艺技术和洗掉工艺技术,首要环境破坏物是指: 氟化合物溶度:300-800mg/L pH值:2- 包含有一些硅酸盐、聚磷酸盐 少量巨资属如铜、镍等 处里制作工艺方案 分为"预进行解决+化学工业悠长岁月中+宽度进行解决"组合起来施工工艺: 调接池:义均饮用水蓄水量,设定pH再线评估 一层发生反应池:加药系统氢空气氧化钙,的控制pH至7-8,造成氟化钙滤渣 1级沉淀出的出的池:沉淀出的出的分離氟化钙污水 两级想法池:加药系统氯化钙和整合氯化铝,进一点消除残留氟阳离子 三次积累池:三次积累转移 砂滤装置:除去飘浮物 化学活化炭溶解:除去巧妙物和微量分析血本属 淤泥外理系统化:板框压滤出现脱水,淤泥含水量率降为60%以内 不可能效果好 系统性工作相对稳定后,喷水地表水: 氟化合物密度:2.1-3.8mg/L pH值:6.5-7. SS<5mg/L 血本属分量均低过检测限 压根具备《电子元器件重工业水环保问题物摆放口规范标准》(GB39731-2020)规定要求,每一年抑制氟化物摆放口约180吨。

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