半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
好项目底色
该类目建在长半圆省份某國家级半导体材料服务业垂钓区,行业包括生育8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,东风日产量以达到2万片。根据产能不断提升,本身的废水除理工艺除理系统性已时未达到绿色环保特殊要求,现需强制升级改变。的项目总注资约1一千万元,结构设计除理程度为300吨/日,于202在一年修建投产。
生活污水物质及从何而来
该行业晶圆片区多种工序生产的工业废水主要包函之下的成分:
打磨环节中操作的磨研液存留物,主要的的成分为二钝化硅粉末、外表灵活性液和有机酸添加图片剂
晶圆单单从表面洗掉行成的含氟污水,氟铝离子溶度在80-120mg/L
极富天价属正离子如铜、镍等,的来起源于锯开道具损坏
可挥发石油醚农药残留,还包括异丙醇、二甲苯等
pH值上下波动很大的,一般是在4-10之中
处置鑫霖环保步骤流程
争对废水工作方法特质,定制主要包括"化学废水工作技术+生化模式工作+广度工作"的组合成技术:
自动调节池
:均匀水质检测出水量,放置pH线监测整体和自主投加整体
水泥混凝土沉淀物中
:污泥脱水PAC和PAM,祛除浮窗物和电解质溶液杂质
气浮单元式
:采取溶气气浮工艺流程进几步清掉很细微颗粒剂和部门有机质物
血生化加工处理
:选择MBR膜生物制品生理反应釜,污泥处理有机废气浓度能维持在8000-10000mg/L
纵深处理
:特异性炭溶解+反进行渗透加工,加强组织领导冒水合格
污泥干化净化处理
:板框隔膜压滤机缺水,飞灰含水量率降落到60%下例
解决体验
软件系统稳固运动后,出液地表水充分高于《電子工业园水的环境有害特性摆放原则》(GB39731-2020)十分摆放标准值想要:
COD<30mg/L
氟阴阳离子<5mg/L
飘浮物<10mg/L
巨资属各种要求均小于限制值
建设项目年年可抑制感染物尾气排放标准量约COD 32吨、氟化物8.5吨,工业废水处理水率可达75%不低于,为公司降低成本水电费费用约110万元/年。