该晶圆开发厂是在华东的地区的地区,包括生产加工方式8英尺光电器件晶圆,单日废水处理方法污染物量约800吨。鉴于生产加工方式全过程中施用丰富盐酸做好晶圆蚀刻,产生废水处理方法中氟化物氧化还原电位将高达200-300mg/L,远超国家地区污染物基准(10mg/L下类)。
废液组成成分及源头
废气重点是来自于6个基本原则:
晶圆蚀刻生产工序
:含高含量氟化物(HF)、氯化铵及极少量巨资属
有机化学设备cnc精密机械加工(CMP)污水
:含纳米级级硅顆粒、有机物络合剂
环保设备洗涤废气
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机质物
操作的工艺流量
按照"催化积淀出的+水泥混凝土积淀出的+的深度进行过滤"三级视频加工设计:
三级进行处理
:污泥脱水氯化钙和氢氧化物钙,出现氟化钙滤渣,氟化物快速清理率达85%
二级考试净化处理
:使用PAC(配位聚铝)和PAM(PP酰胺),删去悬浊液态环境破坏物
三级职业资格证书外理
:能够 多媒质过虑器和几丁质酶炭过滤,出水出水氟化物有机废气浓度不稳定性在8mg/L下面
重要的机分为:pH会自动调高控制系统、斜管水解池、板框设备(淤泥脱干)。
以后疗效
好项目工作四年监测技术数据信息现示:
氟化物平均值质量浓度:7.2mg/L(超过祖国标)
COD出掉率:92%
污泥干化含水分率:≤65%
年收废氟化钙副厂品约150吨,完成资源英文化利用率