项目流程底色 广州某半导体技术厂产量过程中中同样所产生高硅废气（SiO₂ 500-800mg/L）和含氟废气（F⁻ 200-300mg/L）。每种废气混杂时易建立氟硅酸氢氧化铁，传统性化学发展法根本无法不稳不合格。大型项目想要此次彻底清除硅和氟（污染物的标准：SiO₂≤30mg/L，F⁻≤10mg/L）。 废水处理工艺物质及渠道 一般成分表 ：硅酸氢钠（NaHSiO₃）、氟化铵（NH₄F）、异丙醇 来历 ：晶圆刻蚀生活鑫霖环保、CMP碾磨生活鑫霖环保、机器设备清洗水 清理加工过程步骤 协同管理沉淀物中周期 ： 有级发应池 ： 一级加药Ca(OH)₂转化CaF₂和CaSiO₃奠定； 第二步级加药系统PAC（缩聚氯化铝）突破斜管沉淀池。 固液剥离 时候 ： 超滤膜机系统 ：用到0.02μm孔经膜模块截流橡胶胶体部分硅和微细放置物。 程度脱氟的时候 ： 灵活性阳极氧化铁物理吸附塔 ：多余氟化合物降解消除。 终结的效果 出液SiO₂≤25mg/L，F⁻≤8mg/L，远远低于政府条件。 反渗透装置系统性通量相对稳定在15LMH，电化学擦洗周期时间延迟至60天。 厌氧颗粒污泥经压滤后含水量率＜65%，可按基本上固废处理防范。