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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆生产加工线配合的超蒸馏水系统软件,没天所产生含硅生产废水150吨。生产废硫酸铜溶液虽无巨资属,但硅分量高易积垢,且电阻功率率需做到18MΩ·cm能够循环。应有清工院艺始终无法满意新实行的《电子元器件制造业水环境固体废弃物摆放标准的》(GB39731-2020)特别的摆放最大限度。 生活污水材料特殊性 核心危害物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(颗粒直径0.1-1μm) 特殊性耍求 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 水污染功能 :低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物型态繁多 治理 工艺设备程序流程 转型升级采取"梯级膜破乳+电去阳离子"搭配艺: 微滤预净化处理 :1μm工业陶瓷膜拦阻大颗料硅,通量长期保持80LMH 亚铁离子互相交换聚酯树脂 :D201大孔硅胶粘合剂选定 性吸附剂硅酸原子核 下级RO体统 :一号段回收分类处理率60%,第2段按照高脱硼膜pcb板 EDI电去阳离子 :感应电流体积密度2A/m²,保持弄掉多余阴离子 红外光谱除菌 :254nm紫外光线使用量40mJ/cm² 技术水平成效 开拓专用箱阻硅剂(有机的胺类挽回物),减慢膜被污染的时间段3倍 EDI功能革新流道设置,硅清理率升降至99.8% 线上硅解析仪(測量空间0.1-500μg/L)达到精淮操控 进行实效 经然后方探测: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼量从8μg/L降为0.3μg/L 设计回收处理率从原40%不断提升至68% 膜撤换生长期增加至5年,年进行成本低下降35%

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