该厂为89英寸晶圆生产加工线配合的超蒸馏水系统软件,没天所产生含硅生产废水150吨。生产废硫酸铜溶液虽无巨资属,但硅分量高易积垢,且电阻功率率需做到18MΩ·cm能够循环。应有清工院艺始终无法满意新实行的《电子元器件制造业水环境固体废弃物摆放标准的》(GB39731-2020)特别的摆放最大限度。
生活污水材料特殊性
核心危害物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(颗粒直径0.1-1μm)
特殊性耍求
:TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L
水污染功能
:低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物型态繁多
治理 工艺设备程序流程
转型升级采取"梯级膜破乳+电去阳离子"搭配艺:
微滤预净化处理
:1μm工业陶瓷膜拦阻大颗料硅,通量长期保持80LMH
亚铁离子互相交换聚酯树脂
:D201大孔硅胶粘合剂选定 性吸附剂硅酸原子核
下级RO体统
:一号段回收分类处理率60%,第2段按照高脱硼膜pcb板
EDI电去阳离子
:感应电流体积密度2A/m²,保持弄掉多余阴离子
红外光谱除菌
:254nm紫外光线使用量40mJ/cm²
技术水平成效
开拓专用箱阻硅剂(有机的胺类挽回物),减慢膜被污染的时间段3倍
EDI功能革新流道设置,硅清理率升降至99.8%
线上硅解析仪(測量空间0.1-500μg/L)达到精淮操控
进行实效
经然后方探测:
总硅从280mg/L高于0.05mg/L
硼量从8μg/L降为0.3μg/L
设计回收处理率从原40%不断提升至68%
膜撤换生长期增加至5年,年进行成本低下降35%