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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体行业集成块打造厂在晶圆生产制造历程中,动用硅烷使用硅外延性的生长,排放洗涤剂塔导致高有机废气浓度含硅废液。废液具备pH上下波动大(2-11)、硅含量的高的特征 ,传统化补救策略易出现了硅垢赌塞问题。 污水材料及来历 废污水其主要部分为: 熔化分解性硅酸盐 :SiO₂酸度达1000-1500mg/L 氢氧化反应钾/氢氧化反应钠 :洗滌塔碱酸洗滌液余留 粒状硅 :纳米技术级SiO₂悬浊液 痕量砷 :化学原料钙镁离子携带 治理技术具体流程 转型升级采用了"多级采和+膜油烟净化器+多效蒸发结晶体"生产技术: 一級采和 :用CaO调控pH至4-5,添加硅酸钙放置,硅取除率60%。 二次元中合 :加Na₂CO₃将pH上升至9,逐渐一个脚印沉淀出的余下硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透装置系统化 :0.02μm陶瓷制品膜过滤水微米级硅粒子,通量固定在80LMH。 MVR化掉器 :浓缩造成高盐废水处理工艺,析出出Na₂SO₄副品牌,水使用率超90%。 既定成效 总硅从1500mg/L下降5mg/L以内 砷含量从0.8mg/L降下来0.01mg/L 体系无水垢加载高达2年 常年环保再生资源回收硝酸钠钠单晶体约800吨

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